2017-11-29

〔記者洪友芳/新竹報導〕晶圓代工廠台積電(2330)協助工研院開發出應用先進製程「新世代溶液中奈米微粒監控系統-SuperSizer」,能量測小到3奈米的化學溶液有無雜質,有助提升良率,工研院量測中心主任林增耀表示,「台積電沒有捨近求遠」,讓台灣的研發技術可以直接到產線測試,他稱許團隊新創公司—兆晟奈米科技將是「漢微科第二」。

  • 工研院技轉「新世代溶液奈米粒子監測系統」給兆晟奈米科技,技術能突破奈米微粒的量測極限,解決半導體製程所面臨的難題。左起工研院量測中心主任林增耀、工研院院長劉仲明、兆晟奈米科技暨致茂電子董事長黃欽明。(記者洪友芳攝)

    工研院技轉「新世代溶液奈米粒子監測系統」給兆晟奈米科技,技術能突破奈米微粒的量測極限,解決半導體製程所面臨的難題。左起工研院量測中心主任林增耀、工研院院長劉仲明、兆晟奈米科技暨致茂電子董事長黃欽明。(記者洪友芳攝)

林增耀表示,半導體大廠持續往先進製程發展,良率是勝敗的關鍵,因半導體製程中常用到大量溶液,清洗、研磨與蝕刻晶圓的表面,現有製程監測設備到20奈米以下就有瓶頸,無法成功檢測出溶液中的粒子大小、數量是否符合標準,導致產品良率受影響。

5年前,台積電相關主管到美國知名研發機構「美國國家標準技術研究所(簡稱NIST)」,詢問到哪找提高先進製程良率的檢測設備,剛好問到該院的吳姓顧問,吳指點迷津說:「不必捨近求遠啊!工研院就有了。」在吳顧問的推薦下,台積電找上量測中心該技術研發成員的何信佳博士,透過工研院已開發的量測氣體粒子的儀器,與半導體製程接軌,跟台積電展開合作。

林增耀指出,奈米量測組研發技術團隊與台積電製造技術中心研發團隊合作,由台積電提供產線讓量測粒子的技術直接測試,不斷修正到符合量產的需求,雙方攜手克服重重阻礙,終於成功開發「新世代溶液中奈米微粒監控系統-SuperSizer」,除了半導體7奈米、5奈米到3奈米製程可用外,光電或生物製藥業都可應用。

新技術受致茂青睞

技術團隊被致茂電子(2360)青睞,最近投資衍生出兆晟奈米科技,董事長黃欽明表示,新公司資本額將從2000萬元增到2億元,他看好「新世代溶液中奈米微粒監控系統-SuperSizer」,如果能幫助半導體製程良率提升1%,獲利將可提升8%,預期貢獻將很大,並可從台灣進軍到國際市場,極有可能成為另一個台灣之光。

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