2017-11-29
〔記者洪友芳／新竹報導〕晶圓代工廠台積電（2330）協助工研院開發出應用先進製程「新世代溶液中奈米微粒監控系統-SuperSizer」，能量測小到3奈米的化學溶液有無雜質，有助提升良率，工研院量測中心主任林增耀表示，「台積電沒有捨近求遠」，讓台灣的研發技術可以直接到產線測試，他稱許團隊新創公司—兆晟奈米科技將是「漢微科第二」。
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工研院技轉「新世代溶液奈米粒子監測系統」給兆晟奈米科技，技術能突破奈米微粒的量測極限，解決半導體製程所面臨的難題。左起工研院量測中心主任林增耀、工研院院長劉仲明、兆晟奈米科技暨致茂電子董事長黃欽明。（記者洪友芳攝）
林增耀表示，半導體大廠持續往先進製程發展，良率是勝敗的關鍵，因半導體製程中常用到大量溶液，清洗、研磨與蝕刻晶圓的表面，現有製程監測設備到20奈米以下就有瓶頸，無法成功檢測出溶液中的粒子大小、數量是否符合標準，導致產品良率受影響。
5年前，台積電相關主管到美國知名研發機構「美國國家標準技術研究所（簡稱NIST）」，詢問到哪找提高先進製程良率的檢測設備，剛好問到該院的吳姓顧問，吳指點迷津說：「不必捨近求遠啊！工研院就有了。」在吳顧問的推薦下，台積電找上量測中心該技術研發成員的何信佳博士，透過工研院已開發的量測氣體粒子的儀器，與半導體製程接軌，跟台積電展開合作。
林增耀指出，奈米量測組研發技術團隊與台積電製造技術中心研發團隊合作，由台積電提供產線讓量測粒子的技術直接測試，不斷修正到符合量產的需求，雙方攜手克服重重阻礙，終於成功開發「新世代溶液中奈米微粒監控系統-SuperSizer」，除了半導體7奈米、5奈米到3奈米製程可用外，光電或生物製藥業都可應用。
新技術受致茂青睞
技術團隊被致茂電子（2360）青睞，最近投資衍生出兆晟奈米科技，董事長黃欽明表示，新公司資本額將從2000萬元增到2億元，他看好「新世代溶液中奈米微粒監控系統-SuperSizer」，如果能幫助半導體製程良率提升1%，獲利將可提升8%，預期貢獻將很大，並可從台灣進軍到國際市場，極有可能成為另一個台灣之光。
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